恒运昌(688785.SH)：公司第四代等离子体射频电源系统Cedar系列截至2026半年度已有部分机型小批量试产

格隆汇10月23日丨恒运昌(688785.SH)接受特定对象调研时表示，Cedar系列将射频电源和匹配器整合为一体化平台，配备多个中心阻抗应用、可实现快速数据及大数据采集等功能，可支撑更先进制程。公司第四代等离子体射频电源系统Cedar系列截至2026半年度已有部分机型小批量试产；公司在研项目之一“Jade系列匹配器”截至2026半年度处于样机设计中。公司新增在研项目“AI Model-Based RFImpedance Matching System”截至2026半年度已完成模型开发并在持续完善中。