台积电CEO：目前生产中不需要高数值孔径EUV

格隆汇6月4日｜台积电首席执行官：我们已购买高数值孔径EUV光刻设备用于研发，但由于成本高，目前生产中不需要高数值孔径EUV。我们正在努力降低成本，并在投入生产前最大化高数值孔径EUV的效益。